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LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

微流控缺陷檢測 Nanotronics nSpec Macro可以照亮樣品的整個面，或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場，暗場，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED，配合使用可調節照明的強度，顏色和位置。

Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測光學系統是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發展，配方保存和修改也是非常方便的。