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分享！晶圓對準設備具有的原位晶圓對準鍵合技術

更新時間：2022-09-19  |  點擊率：1071
　　晶圓對準設備是實現(xiàn)系統(tǒng)微型化和系統(tǒng)更高集成度的關鍵工藝設備，尤其是先進的MEMS、MOEMS制造的關鍵設備之一。其鍵合工藝主要包括陽極鍵合、共晶鍵合、熔融鍵合。該設備主要應用于微機電系統(tǒng)極限環(huán)境可靠性測試試驗中的封裝測試過程，為各種微機電器件提供不同類型的鍵合封裝，為檢驗不同材料、鍵合條件對可靠性的影響提供鍵合技術支持。
 
　　目前，晶圓對準設備可應用于多個領域，包括MEMS、功率器件、圖像傳感器、先進封裝和化合物半導體等。其還能夠滿足各類基底的鍵合對準需求。
 

 

　　主要功能：
　　1.可用于陽極鍵合，共晶鍵合，玻璃漿料鍵合，Si-Si熔融直接鍵合等硅片鍵合技術工藝；
　　2.可實現(xiàn)三層玻璃-硅-玻璃鍵合、玻璃-硅-硅鍵合；
　　3.獨立可控均勻?qū)ΨQ的上、下加熱電極，加熱和冷卻速度軟件可控，最大升溫/冷卻速度可達45度/分鐘。
 
　　晶圓對準設備具有的原位晶圓對準鍵合技術：
　　1.激活、對準、鍵合一體機；
　　2.上下基板獨立加熱，適合Getter材料工藝；
　　3.智能作用力控制；
　　4.可靠的全自動對準功能，對準精度可達1微米；
　　5.可鍵合的芯片及晶圓尺寸為2到12；
　　6.自動程序控制功能：適用于研發(fā)或生產(chǎn)等應用；
　　7.圖像采集功能：用于識別背面對準標記；
　　8.鍵合前晶圓原位激活、化學表面處理功能。